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水汽捕集泵

 

-145水汽捕集泵  

-145 Water vapor cryopump(Polycold)

(提供polycold冷媒及维修)

 

水汽捕集泵 又称:POLYCOLD快速循环水汽深冷泵

应用原理:

    在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。

    深冷泵的工作原理:将一个能到-120以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr10-5 Pa)

                                

在实际应用当中,根据所放的位置不同可以分为两类 

1、水汽捕集器

    它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。 

2、低温冷阱

    放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态,无需除霜装置。

根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装.

本公司研发生产的-145深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于领先地位,达到甚至超过国际先进水平。

 

主要的性能特点

1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%

2、降温迅速,3分钟内制冷到-120,最低可到-150

32分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温;

4、一台设备可设计两路负载输出;

5、进口压缩机,环保混合型制冷剂;

6、完善的自动化控制;

7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温  度显示;

8、当待机温度到达后有指示灯提示,可以开始制冷;

9、除霜温度自由设定;

10、具有水温温度、排气温度显示;

11、缺水、水温过高报警;  

12、压缩机排气过高、压力过高保护;

13、电源断电、缺相报警;

14、可本地、远程控制自由转换;

15R232计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。

 

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